一、项目信息

采购人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院

项目名称：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院面向1X纳米技术代的FDSOI器件集成技术采购项目

拟采购的货物或者服务的说明：







包号







采购内容







数量







基本情况







预算金额











1







面向1X纳米技术代的FDSOI器件集成技术







1项







详见项目需求







150万元







拟采购的货物或服务的预算金额：150.0000000 万元（人民币）

采用单一采购方式的原因及说明:

（1）本项目拟采购面向1X纳米技术代的FDSOI器件集成技术，主要为2X纳米及以下FDSOI器件集成技术的研究提供关键技术难点的研发和趋势性指导。该采购项目包含以下内容和参数：

（1）可用于1X纳米FDSOI器件的超薄高K/金属栅结构：结构的等效栅氧化层厚度EOT≤1nm，叠层结构有效功函数满足FDSOI器件阈值调控需求；

（2）可用于1X纳米FDSOI器件的源漏外延及低阻接触：NMOS采用Si外延，PMOS采用SixGe1-x (0.25≤x≤0.5),源漏接触电阻ρc≤5×10-8Ω·cm-2；

（3）一套可工程化的1X纳米FDSOI的平面器件集成工艺方案；

（4）论文 (双方共同署名)1篇，申请发明专利(采购方所有)3项。

经调研，目前中国科学院微电子研究所的8吋先导工艺研发线具有以上能力，所进行的面向1X纳米技术代的FDSOI器件集成技术的研发，满足上述技术要求。受基础设施及开发灵活性的影响，国内其他科研院校不具备完成面向1X纳米技术代的FDSOI器件集成技术研发的8吋或8吋以上的FDSOI器件集成技术的开发能力；而国内具有FDSOI器件生产能力的企业，其研发灵活性及面向该采购项目的资源调配能力受限，无法按照需求进行系统的验证与开发。中科院微电子研究所同时满足以上需求，配合度高、有前期基础、诚信可靠、技术能力和实验条件有充分保障。基于上述原因，且为进一步为2X纳米及以下FDSOI器件集成技术的研究服务，满足采购人的需求，且目前国内无其他供应商能满足需求，本项目拟采用单一采购方式进行采购。

（2）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：

专家1：姓名刘喜荣工作单位北京市食品研究所职称 高工意见： 同意

专家2：姓名蒋秀高工作单位中国CDC传染病所职称研究员意见： 同意

专家3：姓名李雪红工作单位林业产业规划设计院职称 高工 意见： 同意

（3）专家小组综合意见：

该项目采购之面向1X纳米技术代的FDSOI器件集成技术，经市场调研，满足采购人技术需求的供应商只有一家，为满足采购人的科研需求，建议使用单一采购方式进行。

二、拟定供应商信息

名称：中国科学院微电子研究所

地址：北京市朝阳区北土城西路3号

三、公示期限

2021年06月07日 至 2021年06月15日

四、其他补充事宜：

合格的供应商： 符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求”； 在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体； 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标； 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动； 按本投标邀请的规定获取单一文件； 本项目不接受联合体投标； 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。 单一采购文件下载地点：

地点：www.o-science.com

单一采购项目响应文件递交时间及地点：

时间：2021年6月17日下午15:30（北京时间）

地点：广州市越秀区先烈中路100-67号楼14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座）

单一采购协商时间及地点：

时间：2021年6月17日下午15:30（北京时间）

地点：广州市越秀区先烈中路100-67号楼14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座）

采购代理机构名称：东方国际招标有限责任公司

详细地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室。

邮编：100081

联 系 人： 迟兆洋、张君仙

电 话：020-87001523

传 真：010-68290525

邮 箱：ytlin@oitc.com.cn

采购单位联系方式：

采购单位：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院

采购单位地址：广东省广州市黄埔区开源大道136号A栋

采购单位联系方式：020-22324798

五、联系方式



1.采购人



联系人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院



地址：广东省广州市黄埔区开源大道136号A栋



联系方式：020-22324798



2.财政部门



联系人：/



联系地址：/



联系电话：/



3.采购代理机构信息



名 称：东方国际招标有限责任公司



地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室



联系方式：迟兆洋、张君仙 ytlin@oitc.com.cn